Формообразование оптических поверхностей крупногабаритных зеркал из поликристаллического кремния

Никитин Д.Б., Серегин Д.А., Химич Ю.П. Формообразование оптических поверхностей крупногабаритных зеркал из поликристаллического кремния // Оптический журнал. 2005. Т.72. №12 С. 50-52.

Nikitin D.B., Seregin D.A., Khimich Yu.P. Shaping the optical surfaces of large mirrors made from polycrystalline silicon [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2005. V. 72. No 12. P. 50-52.

Nikitin D.B., Seregin D.A., Khimich Yu.P. Shaping the optical surfaces of large mirrors made from polycrystalline silicon // Journal of Optical Technology. 2005. V. 72. № 12. P. 926-928. https://doi.org/10.1364/JOT.72.000926

Разработана технология обработки крупногабаритной оптической поверхности из поликристаллического кремния. Представлены результаты реализации технологии на примере крупногабаритного зеркала с диаметром 510 мм.