УДК: 681.7.064.8

Применение ионно-лучевой обработки в технологии изготовления решеток-поляризаторов

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Знаменский М.Ю., Лукашевич Я.К. Применение ионно-лучевой обработки в технологии изготовления решеток-поляризаторов // Оптический журнал. 2007. Т. 74. № 3. С. 79–81.

Znamenskiy M.Yu., Lukashevich Ya.K. Using ion-beam processing to fabricate polarizer gratings [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2007. V. 74. № 3. P. 79–81.

Ссылка на англоязычную версию:

M. Yu. Znamenskiĭ and Ya. K. Lukashevich, "Using ion-beam processing to fabricate polarizer gratings," Journal of Optical Technology. 74 (3), 215-216 (2007). https://doi.org/10.1364/JOT.74.000215

Аннотация:

Рассмотрены возможности ионно-лучевой обработки в технологии изготовления поляризаторов для инфракрасной области спектра на основе нарезных дифракционных решеток на твердых подложках из хрупких материалов: германия, кремния, оптической керамики ПО-4 (селенид цинка). Приведены условия и режимы проведения операций и характеристики экспериментальных образцов решеток-поляризаторов. Указана перспективность использования приведенных операций в технологии получения дифракционных решеток для сжатия лазерных импульсов и в технологии создания поляризаторов на основе голограммных дифракционных решеток.

Коды OCIS: 050.1950

Список источников:

1. Sowk G.J., Wagner D.K., Ballantyne J.M. Optical polarizers for ultraviolet region // Appl. Opt. 1983. Vol. 22, № 9. P. 1270-1272.

2. Bird G.R., Parrish. The Wire Grid as a Near-Infrared Polarizer // JOSA. 1960. Vol. 50, N 9. P. 886-891.

3. Яковлев Э.А., Герасимов Ф.М. Поляризаторы инфракрасного излучения на основе прозрачных дифракционных решеток // ОМП. 1964. № 10. С. 28-34.

4. Лукашевич Я.К., Стрежнев С.А., Герасимов В.П., Сосновская Г.И. Решетки-поляризаторы увеличенных размеров для ИК области спектра // ЖПС. 1983. Т. 38, № 1. С. 314-319.

5. Young J.B., Graham H.A., Paterson E.W. Wire Grid Infrared Polarizer // Appl. Opt. 1965. Vol. 4, N 8. P. 1023- 1026.

6. Орел У.Р. Нанесение металлического покрытия на решетки-поляризаторы // ОМП. 1972. № 4. С. 33-34.

7. Черезова Л.А. Модификация поверхности оптических материалов ионной и ионно-химической обработкой // Оптический журнал. 2000. Т. 67, № 10. С. 3-8.

8. Шубников А.В. Основы кристаллографии. М.-Л.: Изд-во Акад. наук СССР, 1940. 488 с.

9. Герасимов Ф.М., Яковлев Э.А. Дифракционные решетки. Современные тенденции в технике спектроскопии. Новосибирск: Наука, 1982. 70 с.

10. Плазменная технология в производстве СБИС / Под ред. Айнспрука А., Брауна Д. М.: Мир, 1987. 469 с.