en
Назад
УДК: 537.534.9, 535.843.312
Ионное травление голограммных дифракционных решеток на слоях халькогенидных стекол
Полный текст «Оптического журнала»
Полный текст на elibrary.ru
Публикация в Journal of Optical Technology
Знаменский М.Ю., Саттаров Ф.А. Ионное травление голограммных дифракционных решеток на слоях халькогенидных стекол // Оптический журнал. 2007. Т. 74. № 6. С. 50–53.
Znamenskiy M.Yu., Sattarov F.A. Ion etching of holographic diffraction gratings on layers of chalcogenide glasses [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2007. V. 74. № 6. P. 50–53.
M. Yu. Znamenskiĭ and F. A. Sattarov, "Ion etching of holographic diffraction gratings on layers of chalcogenide glasses," Journal of Optical Technology. 74 (6), 412-414 (2007). https://doi.org/10.1364/JOT.74.000412
Предложены конструкции исходных структур голограммных дифракционных решеток на слоях халькогенидных стекол, позволяющие получить методом ионного травления качественные квазитреугольные профили штрихов указанных решеток в широком диапазоне пространственных частот.
Коды OCIS: 050.1950
Список источников:1. Лукин А.В., Макаров А.С., Саттаров Ф.А.,Селезнев В.А., Скочилов А.Ф., Стрельников Ю.П. Крупногабаритные голограммные решетки на слоях ХСП высокого оптического качества // Оптический журнал. 1999. Т. 66, № 12. С. 73-74.
2. Вандюков Е.А., Знаменский М.Ю., Саттаров Ф.А. Технологические условия оптимизации характеристик голограммных дифракционных решеток на слоях селенида мышьяка // Оптический журнал. 2007. Т. 74, № 5. С. 58-62.
3. Bryngdahl O. Formation of blazed gratings // JOS A. 1970. Vol. 60, N 1. P. 140.
4. Nagata H., Kishi M. Production of blazed holographic gratings by a simple optical system // Jap. J. Appl. Phys. 1975. Vol. 14, N 1. P. 181-186.
5. Namioka T., Harada T. Diffraction gratings in Japan // Opt. Acta. 1976. Vol. 23, N 29. P. 701-708.
6. Картер Дж. Теория эрозии и роста поверхности // Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: Пер. с англ. / Под ред. Е.С. Машковой. М.: Мир, 1989. 349 с.
7. Файзрахманов И.А., Саттаров Ф.А., Лукин А.В., Хайбуллин И.Б. Влияние режима ионного распыления на микрорельеф ГДР // Оптический журнал. 2004. Т. 71, № 1. С. 26-29.
8. Lukin A.V., Makarov A.S., Sattarov F.A., Strelnikov J.P., Fayzrakhmanov I.A., Khaybullin I.B. Hologram blazed diffraction gratings for wide spectral range // Proc. SPIE. 1997. Vol. 3317. P. 191-195.