УДК: 535.016

Лазерная дезактивация металлических поверхностей

Вейко В.П., Шахно Е.А., Смирнов В.Н., Мясковский А.М., Боровских С.С., Никишин Г.Д.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Вейко В.П., Шахно Е.А., Смирнов В.Н., Мясковский А.М., Боровских С.С., Никишин Г.Д. Лазерная дезактивация металлических поверхностей // Оптический журнал. 2007. Т. 74. № 8. С. 33–36.

Veiko V.P., Shakhno E.A., Smirnov V.N., Myaskovskiy A.M., Borovskikh S.S., Nikishin G.D. Laser decontamination of metallic surfaces [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2007. V. 74. № 8. P. 33–36.

Ссылка на англоязычную версию:

V. P. Veĭko, E. A. Shakhno, V. N. Smirnov, A. M. Myaskovskiĭ, S. S. Borovskikh, and G. D. Nikishin, "Laser decontamination of metallic surfaces," Journal of Optical Technology. 74 (8), 536-538 (2007). https://doi.org/10.1364/JOT.74.000536

Аннотация:

Изложены основные механизмы лазерного переноса вещества. Рассмотрен способ дезактивации металлических поверхностей методом лазерного переноса. Исследована зависимость изменения толщины удаленного слоя от плотности мощности лазерного излучения. Определены границы испарительного и термомеханического режимов лазерной дезактивации. Предложен метод угловой лазерной дезактивации.

Благодарность:

Эта работа поддерживалась грантом Президента Российской Федерации (НШ-1370.2003.8), грантом РФФИ (04-02-166-11a) и госконтрактом 02.445.11.7108.

Коды OCIS: 350.3390

Список источников:

1. Вейко В.П., Котлецов Б.Н., Либенсон М.Н. Лазерная литография, Электроника, 1970.

2. Szorenyi T., Toth Zs. Pulsed laser synthesis and printing of compound semiconductors // Proc. SPIE. 1989. V. 1022. P. 93-96.

3. Fitz-Gerald J.M., Pique A., Chrisey D.B. et al. Laser direct writing of phosphors screens high-definition displays // Appl. Phys. Lett. 2000. V. 76. № 11. Р. 1386-1388.

4. Lu Y.F., Ren Z.M. Laser microprocessing and the applications in microelectronics industry // Proc. SPIE. 2001. V. 4157. Р. 191-199.

5. Pique A., Arnold C.B., Wartena R.C. et al. Laser directwrite of miniature and microbattery systems // RIKEN Review. 2003. № 50. Р. 57-62.

6. Laser cleaning / Ed. by B.S. Luk'yanchuk. World Scientific Singapore, 2002.

7. Veiko V.P., Metev S.M. Laser-assisted microtechnology. Heidelberg, Springer Verlag, 1994 (first edition), 1998 (second edition).

8. Mogyorosi P., Szorenyi T., Bali K., Toth Zs., Hevesi I. Pulsed laser ablative deposition of thin metal films // Appl. Surf. Sci. 1989. V. 36. P. 157-166.

9. Veiko V.P., Kajdanov A.I., Kovachki H.A., Shakhno E.A. Mechanisms of local laser-induced forward transfer of films // Proc. SPIE. 1993. V. 1856. P. 11-18.

10. Veiko V.P., Shakhno E.A., Nanai L. Local laser-induced film transfer // Modern topics in chemical physics / Еd. by T.F. George, X. Sun, G. Zhang. Research Singpost, Kerala, India, 2002. P. 303-319.

11. Holmes A.S. Laser processes for MEMS manufacture // RIKEN Review. 2002. № 43. Р. 63-69.

12. Toth Z., Hopp B., Szorenyi Т., Bor Z., Veiko V.P., Shakhno E.A. Pulsed laser ablation mechanisms of thin metal films // Proc. SPIE. 1999. V. 3822. P. 18-26.

13. Никишин Г.Д., Смирнов В.Н. Применение лазерной дезактивации при утилизации АПЛ в Россудостроении // IV Междунар. конференция Радиационная безопасность: Экология - Атомная энергия. Санкт-Петербург, 24-28 сентября 2001 г. Сборник трудов.

14. Вейко В.П., Шахно Е.А., Смирнов В.Н. Низкопороговые механизмы лазерной очистки поверхности // Оптические технологии в фундаментальных и прикладных исследованиях / Под ред. профессора Васильева В.Н. СПб., 2001. C. 132-145.

15. Смирнов В.Н., Никишин Г.Д., Пименова М.А., Ивахнюк Г.К. Лазерная дезактивация. Основы и перспективы использования при утилизации атомных подводных лодок // Вестник Санкт-Петербургского института государственной противопожарной службы. 2005. № 2 (9). C. 33-36.

16. Lee J.M., Watkins K.G. Real-time surface monitoring in the laser cleaning of copper for soldering processes // Lasers in Eng. 1999. V. 8 (3). P. 229-239.