en
Назад
УДК: 547.97: 535.8, 541.147
Формирование микроструктур на основе УФ-отверждаемых акрилатов
Полный текст «Оптического журнала»
Полный текст на elibrary.ru
Публикация в Journal of Optical Technology
Фокина М.И., Денисюк И.Ю., Бурункова Ю.Э., Капорский Л.Н. Формирование микроструктур на основе УФ-отверждаемых акрилатов // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 10. С. 66–72.
Fokina M.I., Denisyuk I.Yu., Burunkova Yu.E., Kaporskiy L.N. Formation of microstructures based on UV-hardenable acrylates [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2008. V. 75. № 10. P. 66–72.
M. I. Fokina, I. Yu. Denisyuk, Yu. É. Burunkova, and L. N. Kaporskiĭ, "Formation of microstructures based on UV-hardenable acrylates," Journal of Optical Technology. 75 (10), 664-669 (2008). https://doi.org/10.1364/JOT.75.000664
В данной работе рассматриваются возможности получения оптических микроструктур на основе УФ-отверждаемых акрилатов. Исследуется применимость метода полутоновой литографии для получения полимерных микролинз и формирования микроэлементов на торце оптического волокна.
Коды OCIS: 160.5470
Список источников:1. Berkel C., McGarvey В., Clarke J. Microlens arrays for 2D large area image sensors // Pure Appl. Opt. 1994. V. 3. P. 177-182.
2. Wu M., Whitsides G. Fabrication of two-dimensional arrays of microlenses and their applications in photolithography // J. Micromechanics and Microengineering. 2002. V. 12. Р. 747-758.
3. Olszak, Descour M. Microscopy in multiples // SPIE OE magazine, 2005. May. p.16-18.
4. Savolainen M., Peiponen K.E., Savander P., Silvennoinen R., Vehviläinen H. Novel optical techniques for window glass inspection // Meas. Sci. Technol. 1995. V. 6. Р. 1016-1021.
5. Tolstoba N.D. Gram-Schmidt technique for aberration analysis in telescope mirror testing // Proc. SPIE. 1999. V. 3785. Р. 140-151.
6. Shen X.X., Yu X.Q., Yang X.L., Cai L.Z., Wang Y.R., Dong G.Y., Meng X.F., Xu X.F. Fabrication of periodic microstructures by holographic photopolimerization with a low-power continuous-wave laser of 532 nm // Pure Appl. Opt. 2006. V. 8. Р. 672-676.
7. Kondo T., Juodkazis S., Mizeikis V., Matsuo S., Mizawa H. Fabrication of three-dimensional periodic microstructures in photoresist SU-8 by phase-controlled holographic lithography // New Journal of Physics. 2006. V. 8. Р. 250-266.
8. Deubel M., Vegener M., Kaso A., John S. Direct laser writing and characterization of "Slanted Pore" Photonic Crystals // Appl. Phys. Lett. 2004. V. 85. №11. Р. 1895- 1897.
9. Хацевич Т.Н., Михайлов И.О. Эндоскопы: Учеб. пособие. Новосибирск: СГТА, 2002. 196 с.
10. Schiappellia F., Kumar R., Prasciolu M., Cojoc D., Cabrini S., De Vittorio M., Visimberga G., Gerardino A.,Degiorgio V., Di Fabrizio E. Efficient fiber-to-waveguide coupling by a lens on the end of the optical fiber fabricated by focused ion beam milling // Microelectronic Engin. 2004. V. 73-74. Р. 397-404.
11. Вейко В.П., Березин Ю.Д., Чуйко В.А. Лазерные технологии формирования волоконно-оптических инструментов // Изв. РАН. Сер. физическая. 1997. Т. 61. № 8. С. 1627-1631.
12. Kim S., Kang S. Replication qualities and optical properties of UV - moulded microlens arrays // J. Phys. D: Appl. Phys. 2003. V. 36. Р. 2451-2456.
13. Moon S., Lee N., Kang S. Fabrication of a microlens array using micro-compression molding with an electroformed mold insert // J. Micromech. Microeng. 2002 V. 13. Р. 98-103.
14. Hessler Th., Rossi M., Pedersen J., Gale M.T., Wegner M.,Steudle D., Tiziani H.J. Microlens arrays with spatial variation of the optical function // Pure Appl. Opt. 1997. V. 6. Р. 673-681.
15. Reimer K., Quenzer H.J., Jurss M., Wagner B. Micro-optic fabrication using one-level gray-tone lithography // Proc. SPIE. 1997. V. 3008. Р. 279-288.
16. Jun Yao, Zheng Cui, Fuhua Gao, Yixiao Zhang, Feng Gao. Design of hybrid micro optical elements with coded gray-tone mask // Microelectronic Engin. 2001. V. 57-58. Р. 793-799.
17. Tormen M., Businaro L., Altissimo M., Romanato F.,Cabrini S., Perennes F., Proietti R., Hong-Bo Sun, Satoshi Kawata, Di Fabrizio E. 3D patterning by means of nanoimprinting, X-ray and two-photon lithography // Microelectronic Engin. 2004. V. 73-74. Р. 535-541.
18. Фокина М.И., Денисюк И.Ю. Формирование решеток микролинз методом дозированной фотополимеризации УФ-отверждаемых оптических композитов // Оптический журнал. 2006. V. 73. № 11. С. 90-96.
19. Смирнова Т.В., Бурункова Ю.Э., Денисюк И.Ю. Измерение усадок УФ-отверждаемых композиций на основе акрилатов и диакрилатов // Оптический журнал. 2006. № 5. C. 57-61.
20. Fokina M. Optical surface making by UV-curing of monomeric compositions in near field of coherent light source // Molecular Crystals. 2007. № 468. P. 33/[385]- 42/[394].
21. Березкина А.С. Влияние типа и концентрации красителя на формирование микроэлемента на торце оптического волокна // Сб. тр. 4-й межвуз. конф. молодых ученых Санкт-Петербурга. СПб.: СПбГУ ИТМО, 2007. С. 12-16.
22. Fokina M.I., Burunkova J.E., Denisuk I.Yu. Influence of Photoactive Additive on Growth of Polymer Microelements on the top of Optical Fiber // Proc. SPIE. 2007. V. 6732. P. 673215.