en
Назад
УДК: 53.087.92, 681.7.064
Фотолитография в производстве круговых оптических шкал на Уральском оптико-механическом заводе
Полный текст «Оптического журнала»
Полный текст на elibrary.ru
Публикация в Journal of Optical Technology
Кручинин Д.Ю. Фотолитография в производстве круговых оптических шкал на Уральском оптико-механическом заводе // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 4. С. 92–94.
Kruchinin D.Yu. Photolithography in the production of circular optical scales at the Ural Optomechanical Factory [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2008. V. 75. № 4. P. 92–94.
D. Yu. Kruchinin, "Photolithography in the production of circular optical scales at the Ural Optomechanical Factory," Journal of Optical Technology. 75 (4), 282-284 (2008). https://doi.org/10.1364/JOT.75.000282
Рассмотрены вопросы модернизации производства круговых оптических шкал. Приведены результаты модернизации производства и внедрения технологии обратной фотолитографии для изготовления геодезических лимбов, растров и кодовых дисков.
Коды OCIS: 110.5220
Список источников:1. Файт К. Установка проекционного экспонирования для изготовления лимбов высокой точности // Йенское обозрение. 1977. № 1. С. 21, 22.
2. Шухардт Г. Новый приборный комплекс для изготовления высокоточных круговых шкал // Йенское обозрение. 1986. № 2 С. 92-94, 102.
3. Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Чугуй Ю.В., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. С. 61-65.