ITMO
en/ en

ISSN: 1023-5086

en/

ISSN: 1023-5086

Научно-технический

Оптический журнал

Полнотекстовый перевод журнала на английский язык издаётся Optica Publishing Group под названием “Journal of Optical Technology“

Подача статьи Подать статью
Больше информации Назад

УДК: 547.97:535.8, 541.147

Применение метода наноимпринта для единичного копирования полимерной френелевской и микрооптики

Арефьева Н.Н., Денисюк И.Ю.

Полный текст «Оптического журнала»

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Арефьева Н.Н., Денисюк И.Ю. Применение метода наноимпринта для единичного копирования полимерной френелевской и микрооптики // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 7. С. 71–74.

 

Arefieva N.N., Denisyuk I.Yu. Using the imprint method for single replication of polymeric Fresnel optics and micro-optics [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2008. V. 75. № 7. P. 71–74.

Ссылка на англоязычную версию:

N. N. Aref’eva and I. Yu. Denisyuk, "Using the imprint method for single replication of polymeric Fresnel optics and micro-optics," Journal of Optical Technology. 75 (7), 462-464 (2008). https://doi.org/10.1364/JOT.75.000462

Аннотация:

Исследовано применение метода наноимпринта для единичного копирования полимерной френелевской и микрооптики. Определены условия проведения процесса, обеспечивающие наилучшую точность передачи мелких деталей, в частности вакуумирование силоксана и отверждаемого ультрафиолетом (УФ) акрилата при затекании в матрицу. Проведена оценка точности передачи формы оптической поверхности при копировании.

Коды OCIS: 220.3740, 220.4610

Список источников:

1. Окатов A.M., Антонов Э.А., Байгожин А. и др. Справочник технолога-оптика // СПб.: Политехника. 2004. 679 с.

2. Se-Jin C.H., Pil J.Y., Seung J.B., Tae W.K. An Ultraviolet-Curable Mold for Sub-100-nm Lithography // American Chemical Society. 2004. V. 126. № 25. P. 7744-7745.

3. Смирнова Т.В., Бурункова Ю.Э., Денисюк И.Ю. Измерение усадок УФ-отверждаемых композиций на основе акрилатов и диакрилатов // Оптический журнал. 2006. №5. С. 57-61.

4. Gates D. Nanofabrication with molds and stamps // Materials today. 2005. February. P. 44-49.

5. Sotomayor Torres С.М., Zankovych S. Nanoimprint lithography: an alternative nanofabrication approach // Materials Science and Engineering. 2003. № 23. P. 23-31.

6. Andrejewska E. Photopolymerization kinetics of multifunctional monomers // Progress in polymer science. 2001. № 26. P. 605-665.