Использование явления муара для увеличения точности дифракционных методов контроля геометрических параметров и пространственного положения объектов

Назаров В.Н., Иванов А.Н. Использование явления муара для увеличения точности дифракционных методов контроля геометрических параметров и пространственного положения объектов // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 1. С. 46–50.

Nazarov V.N., Ivanov A.N. Using the moiré effect to increase the accuracy of diffraction methods for monitoring the geometrical parameters and the spatial position of objects [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 1. P. 46–50.

V. N. Nazarov and A. N. Ivanov, "Using the moiré effect to increase the accuracy of diffraction methods for monitoring the geometrical parameters and the spatial position of objects," Journal of Optical Technology. 76 (1), 39-42 (2009). https://doi.org/10.1364/JOT.76.000039

Рассмотрен дифракционный метод контроля, позволяющий использовать фазовую составляющую измерительного сигнала, несущую данные о геометрической форме и пространственном положении объекта. Для повышения чувствительности и точности измерений была реализована оптическая система обработки информации, в которой контролируемый объект освещается двумя смещенными в пространстве пучками когерентного излучения. Это позволило ввести фазовый сдвиг между их частотными спектрами при изменении параметров объекта и получить в плоскости регистрации муар-интерференционные полосы, анализируя которые можно получить данные о контролируемом объекте. Дан пример использования метода для исследования формы профиля края объекта.