en
Назад
УДК: 53.087.92, 681.7.064
Фотолитографические технологии в производстве оптических шкал (сеток)
Полный текст «Оптического журнала»
Полный текст на elibrary.ru
Публикация в Journal of Optical Technology
Кручинин Д.Ю. Фотолитографические технологии в производстве оптических шкал (сеток) // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 2. С. 71–73.
Kruchinin D.Yu. Photolithographic technologies in the production of optical scales (grids) [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 2. P. 71–73.
D. Yu. Kruchinin, "Photolithographic technologies in the production of optical scales (grids)," Journal of Optical Technology. 76 (2), 111-113 (2009). https://doi.org/10.1364/JOT.76.000111
Рассмотрены вопросы производства оптических шкал (сеток). Приведены результаты внедрения фотолитографических технологий на предприятии для их изготовления.
Коды OCIS: 110.5220
Список источников:1. Кручинин Д.Ю. Фотолитография в производстве круговых оптических шкал на Уральском оптико-механическом заводе // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 4. С. 92-94.
2. Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов A.B., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Чугуй Ю.В., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. С. 61-65.