en
Назад
УДК: 53.087.92, 681.7.064
Исследование угловых погрешностей лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии
Полный текст «Оптического журнала»
Полный текст на elibrary.ru
Публикация в Journal of Optical Technology
Кручинин Д.Ю., Анисимова О.В., Тырышкина А.С. Исследование угловых погрешностей лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 6. С. 70–74.
Kruchinin D.Yu., Anisimova O.V., Tyryshkina A.S. Study of the angular errors of dials fabricated by inverse photolithography [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 6. P. 70–74.
D. Yu. Kruchinin, O. V. Anisimova, and A. S. Tyryshkina, "Study of the angular errors of dials fabricated by inverse photolithography," Journal of Optical Technology. 76 (6), 373-376 (2009). https://doi.org/10.1364/JOT.76.000373
Рассмотрены результаты исследования влияния технологического процесса обратной фотолитографии на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).
круговая оптическая шкала, лимб, угловая погрешность, обратная фотолитография
Коды OCIS: 110.5220
Список источников:1. Кручинин Д.Ю. Фотолитография в производстве круговых оптических шкал на Уральском оптико-механическом заводе // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 4. С. 92–94.
2. Bartik S.A., Frizin S.E., Kiryanov V.P., Kiryanov A.V., Kokarev S.A., Kruchinin D.Y., Nikitin V.G., Yakovlev O.B. Development of a technique for the determination of metrological parameters of technological system CLWS-300/С for synthesis of high precision angular measuring structures // 10 th IMEKO TC7 International Symposium. Saint-Petersburg, 2004. P. 316–320.
3. Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Фотошаблоны для производства оптических шкал // Труды 7 Междунар. конф. “Прикладная оптика-2006”. Т. 2. Оптические материалы и технологии. СПб., 2006. С. 111–114.
4. Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Чугуй Ю.В., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. С. 61–65.