УДК: 535-15, 535.4, 681.7.02-04:681.787

Неравноплечий ИК-интерферометр Тваймана-Грина для контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных оптических деталей на стадии шлифования

Абдулкадыров М.А., Барышников Н.В., Денисов Д.Г., Животовский И.В., Карасик В.Е., Семенов А.П., Шаров Ю.А.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Абдулкадыров М.А., Барышников Н.В., Денисов Д.Г., Животовский И.В., Карасик В.Е., Семенов А.П., Шаров Ю.А. Неравноплечий ИК-интерферометр Тваймана-Грина для контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных оптических деталей на стадии шлифования // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 10. С. 40–47.

Abdulkadyrov M.A., Baryshnikov N.V., Denisov D.G., Zhivotovskiy I.V., Karasik V.E., Semenov A.P., Sharov Yu.A. An unequal-arm Twyman-Green IR interferometer for monitoring the shape and quality of the surfaces of large optical items at the grinding stage [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2010. V. 77. № 10. P. 40–47.

Ссылка на англоязычную версию:

M. A. Abdulkadyrov, A. P. Semenov, Yu. A. Sharov, N. V. Baryshnikov, D. G. Denisov, I. V. Zhivotovskiĭ, and V. E. Karasik, "An unequal-arm Twyman-Green IR interferometer for monitoring the shape and quality of the surfaces of large optical items at the grinding stage," Journal of Optical Technology. 77(10), 621-627 (2010). https://doi.org/10.1364/JOT.77.000621

Аннотация:

Разработан неравноплечий интерферометр Тваймана–Грина с рабочей длиной волны излучения 10,6 мкм, позволяющий помимо контроля формы измерять параметры микрорельефа контролируемых шлифованных оптических поверхностей, по контрасту изображения регистрируемых интерференционных картин. Получено аналитическое выражение, связывающее значение контраста с основной характеристикой микронеровностей – среднеквадратическим отклонением высот микропрофиля шероховатых поверхностей. Представлен результат погрешности измерения формы контролируемой оптической поверхности в процессе ее формообразования, по данным топографической карты, полученной на основании регистрируемого изображения интерференционной картины. Приведены основные технические характеристики системы интерферометрического контроля.

Ключевые слова:

телескопы, обработка оптики, оптический контроль, асферика, ИК-интерферометры

Коды OCIS: 220.0220, 220.0230, 220.4610, 350.1260

Список источников:

1. Abdulkadyrov M.A., Belousov S.P., Ignatov A.N., Patrikeev V.E., Pridnya V.V., Polyanchikov A.V., Rumyantsev V.V., Samuylov A.V., Semenov A.P., Sharov Y.A. Manufacturing of primary mirrors from Sitall CO-115M for European projects TTL, NOA and VST // Proc. SPIE. 2001. V. 4451. P. 131–137.
2. Abdulkadyrov M.A., Ignatov A.N., Patrikeev V.E., Pridnya V.V., Polyanchikov F.V., Semenov A.P., Sharov Y.A., Atad-Ettengui E., Egan I., Bennet R.J., Craig S.C. M1 and M2 mirrors manufacturing for VISTA telescope // Proc. SPIE. 2004. V. 5494. P. 374–381.
3. Басс Ф.Г., Фукс И.И. Рассеяние волн на статистической неровной поверхности. М.: Наука, 1972. 424 c.
4. Рытов С.М. Введение в статистическую радиофизику. М.: Наука. Часть II. Случайные поля. 1966. 404 с.
5. Osuk Kwon, Wyant J.C., Hayslett C.R. Rough surface interferometry at 10,6 mμ // Appl. Opt. 1980. V. 19. № 11/1.
6. Sinha J.K., Tippur H.V. Infrared interferometry for rough surface measurements: application to failure characterization and flaw detection // Opt. Eng. 1997. V. 36. № 8. P. 2233–2239.