УДК: 531.7.082.5, 535.42/44

Использование муарового эффекта для создания высокоточных дифракционных систем контроля геометрических параметров объектов

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Назаров В.Н., Иванов А.Н. Использование муарового эффекта для создания высокоточных дифракционных систем контроля геометрических параметров объектов // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 4. С. 70–74.

Nazarov V.N., Ivanov A.N. Using the moiré effect to create high-accuracy diffraction systems for monitoring the geometrical parameters of objects [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2010. V. 77. № 4. P. 70–74.

Ссылка на англоязычную версию:

V. N. Nazarov and A. N. Ivanov, "Using the moiré effect to create high-accuracy diffraction systems for monitoring the geometrical parameters of objects," Journal of Optical Technology. 77(4), 280-283 (2010). https://doi.org/10.1364/JOT.77.000280

Аннотация:

Предложен метод дифракционного контроля, основанный на освещении контролируемого объекта парой распространяющихся под углом друг к другу волновых фронтов. Установлено, что такое освещение приводит к формированию муаровой картины, вид которой связан с геометрическими параметрами контролируемого объекта. Рассмотрена возможность применения этого метода для контроля толщин объектов.

Ключевые слова:

дифракционные измерения, муар, дифракционная картина

Благодарность:

Работа выполнена при финансовой поддержке Правительства Санкт-Петербурга (грант 28-04/18).

Коды OCIS: 120.4630, 070.4560, 070.2580

Список источников:

1. Назаров В.Н., Иванов А.Н. Использование явления муара для увеличения точности дифракционных методов контроля геометрических параметров и пространственного положения объектов // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 1. С. 46–50.
2. Иванов А.Н., Назаров В.Н. Дифракционный метод контроля на основе “зеркальной” апертуры // Изв. вузов. Приборостроение. 2007. Т. 50. № 4. С. 38–42.
3. Чугуй Ю.В. Определение геометрических параметров протяженных объектов постоянной толщины по их дифракционным картинам // Автометрия. 1991. № 6. С. 76–92.
4. Лемешко Ю.А., Чугуй Ю.В. Размерный контроль круговых отражающих цилиндров интерференционным методом // Автометрия. 2003. Т. 39. № 5. С. 42–52.
5. Зебрева К.А., Чугуй Ю.В. Расчет дифракционных явлений на 3D объектах постоянной толщины при различных конфигурациях освещения // Труды VII Международной конференции “Прикладная оптика 2006”. СПб. 2006. Т. 3. С. 258–267.