УДК: 621.793.18, 681.7.064.45

Применение ионной обработки в нанотехнологиях получения высокоточных поверхностей оптических деталей

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Черезова Л.А., Михайлов А.В. Применение ионной обработки в нанотехнологиях получения высокоточных поверхностей оптических деталей // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 5. С. 51–54.

Cherezova L.A., Mikhailov A.V. Using ion processing in nanotechnologies to obtain high-accuracy surfaces on optical items [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2010. V. 77. № 5. P. 51–54.

Ссылка на англоязычную версию:

L. A. Cherezova and A. V. Mikhaĭlov, "Using ion processing in nanotechnologies to obtain high-accuracy surfaces on optical items," Journal of Optical Technology. 77(5), 336-338 (2010). https://doi.org/10.1364/JOT.77.000336

Аннотация:

Развитие оптических нанотехнологий получения сверхгладких поверхностей оптических деталей и высокоэффективных защитных просветляющих покрытий невозможно без применения и развития методов ионной обработки поверхности оптических деталей. В статье рассмотрено применение ионной обработки для получения сверхгладких, с шероховатостью 3–5 Å, поверхностей деталей из различных оптических материалов.

Ключевые слова:

ионная и ионно-химическая обработка, шероховатость поверхности, оптические покрытия

Коды OCIS: 220.5770, 310.1620

Список источников:

1. Черезова Л.А. Модификация поверхности оптических материалов ионной и ионно-химической обработкой // Оптический журнал. 2000. Т. 67. № 10. С. 1–8.
2. Первеев А.Ф., Михайлов А.В., Ильин В.В. Ионная полировка стекла // ОМП. 1972. № 10. С. 40–43.
3. Справочник технолога-оптика / Под ред. Окатова М.А. СПб., 2004. 686 с.
4. Гайнутдинов И.С., Муствев Р.М, Гусев А.Г., Михайлов А.В. Влияние ионного ассистирования на эксплуатационные характеристики оптических покрытий // Оптический журнал. 2001. Т. 68. № 5. С. 29–32.
5. Нанотехнологии в ближайшем десятилетии. Прогноз направления развития: Пер. с англ. / Под ред. Роко М.К., Уильямса Р.С. и Аливитоса И.П. М.: Мир, 2002. С. 292.
6. Черезова Л.А., Михайлов А.В., Жевлаков А.П. Формообразование поверхности многофазных оптических материалов с помощью ионного травления // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 11. С. 86–89.
7. Жевлакова Г.А., Любарский С.В. Метрологические проблемы изготовления зеркал для проекционной нанолитографии // Оптический журнал. 2001. Т. 68. № 7. С. 40–48.
8. http://ru.wikipedia.org
9. http://www.nanonewsnet.ru/blog/nikst/novayatekhnoiogiya-polucheniya-materialov-dlya-opticheskikh-priborov-novogo-pokoleniya
10. Михайлов А.В., Мецатунянц В.Е. Новые покрытия для защиты от влаги изделий из стекла и конструкционных материалов // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 11. С. 77–81.
11. Муранова Г.А., Смирнов Н.Н. Свойства пленок, получаемых распылением мишеней ионным пучком // Оптический журнал. 2001. Т. 68. № 4. С. 53–59.
12. Первеев А.Ф., Вишневская Л.В., Черезова Л.А. Ионная обработка оптических материалов и покрытий. М.: НТЦ “Информатика”, 1990. 220 с.
13. Karger A.M. Figuring Miniature Aspherics-Ion Polishing // Appl. Opt. 1973.V. 12. P. 451–454.
14. Mayer T.M., Barker R.A. Reactive ion beam etching with CF4: characterization of a Kaufman ion source and details of SiO2 etching // J. Electrochem. Soc.: Solid State Science and Technology. 1982. V. 129. № 3. Р. 585–591.
15. http://www.nanometer.ru/2008/01/16/otrazhenie_5685.html