en
Назад
УДК: 53.087.92, 681.7.064
Исследование влияния углов падения лучей актиничного излучения на поверхность фотошаблона на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии
Полный текст «Оптического журнала»
Полный текст на elibrary.ru
Публикация в Journal of Optical Technology
Кручинин Д.Ю. Исследование влияния углов падения лучей актиничного излучения на поверхность фотошаблона на угловые погрешности лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 6. С. 46–50.
Kruchinin D.Yu. Study of how the angles of incidence of the rays of actinic radiation on the surface of a photomask affect the angular errors of dials fabricated by lift-off photolithography [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2010. V. 77. № 6. P. 46–50.
D. Yu. Kruchinin, "Study of how the angles of incidence of the rays of actinic radiation on the surface of a photomask affect the angular errors of dials fabricated by lift-off photolithography," Journal of Optical Technology. 77(6), 387-390 (2010). https://doi.org/10.1364/JOT.77.000387
Рассмотрены результаты исследования влияния углов падения лучей актиничного излучения на поверхность фотошаблона в операции контактного экспонирования технологического процесса обратной фотолитографии на угловые погрешности круговых оптических шкал (лимбов).
круговая оптическая шкала, лимб, угловая погрешность, обратная фотолитография
Коды OCIS: 110.5220
Список источников:1. Кручинин Д.Ю., Анисимова О.В., Тырышкина А.С. Исследование угловых погрешностей лимбов, изготовленных методом обратной фотолитографии // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 6. С. 70–74.
2. Кручинин Д.Ю. Способ изготовления оптических шкал обратной фотолитографией // Патент России № 2370799. 2009.
3. Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Чугуй Ю.В., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. С. 61–65.
4. Bartik S.A., Frizin S.E., Kiryanov V.P., Kiryanоv A.V., Kokarev S.A., Kruchinin D.Y., Nikitin V.G., Yakovlev O.B. Development of a technique for the determination of metrological parameters of technological system CLWS-300/С for synthesis of high precision angular measuring structures // 10 th IMEKO TC7 International Symposium. Saint-Petersburg, 2004. P. 316–320.