УДК: 535.421

Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов сфокусированного изображения

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Корешев С.Н., Корепин И.Н. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов сфокусированного изображения // Оптический журнал. 2011. Т. 78. № 9. С. 45–49.

Koreshev S.N., Korepin I.N. Choosing the synthesis parameters of focused-image hologram–projectors [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2011. V. 78. № 9. P. 45–49.

Ссылка на англоязычную версию:

S. N. Koreshev and I. N. Korepin, "Choosing the synthesis parameters of focused-image hologram–projectors," Journal of Optical Technology. 78(9), 594-597 (2011). https://doi.org/10.1364/JOT.78.000594

Аннотация:

Рассмотрена реализация фотолитографического процесса, основанного на синтезированных голограммах “сфокусированного” изображения, работающих совместно с объективом невысокого качества. Сформулированы и обоснованы рекомендации по выбору параметров синтеза и отображения голограмм, определяющих качество восстанавливаемых с их помощью изображений. Обоснована перспективность применения данной системы для решения проблем ультракоротковолновой фотолитографии. Установлено, что совместное использование голограммы и проекционной системы позволяет достичь предельного для оптики минимального характеристического размера элемента фотошаблона, равного длине волны восстанавливающего излучения.

Ключевые слова:

голография, фотолитография, голограмма “сфокусированного изображения”, синтезированная голограмма

Коды OCIS: 090.1760

Список источников:

1. Ehbets P., Herzig H., Kuittinen M., Clube F., Darbellay Y. High. Carrier-frequency fan-out gratings fabricated by total internal reflection holographic lithography // Opt. Eng.1995. V. 34. № 8. P. 2377–2383.
2. Корешев С.Н., Ратушный В. П. Использование метода голографии для получения изображений двумерных объектов при решении задач фотолитографии высокого разрешения // Оптический журнал. 2004. Т. 71. № 10. С. 32–39.
3. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Голограммы сфокусированного изображения в задаче высокоразрешающей проекционной голографической фотолитографии // Опт. и спектр. 2006. Т. 101. № 6. С. 1038–1042.
4. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фотолитографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29–34.
5. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Иванов Ю.А., Козулин И.А. Программный комплекс для синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов: влияние параметров синтеза на качество восстановленного изображения // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 1. С. 42–48.
6. Born M., Wolf E. Principles of optics. L.: Pergamon press, 1964. 986 p. Перевод: С.Н. Бреус, А.И. Головашкин, А.А. Шубин под ред. Г.П. Мотулевич. М.: Наука, 1973. 856 с.
7. Родионов С.А. Автоматизация проектирования оптических систем. Л.: Машиностроение, 1982. 270 с.