УДК: 681.3: 681.7.023.72

Изменение шероховатости поверхности CVD–ZnSe при механической обработке в зависимости от размера зерна суспензии

Вилкова Е.Ю., Тимофеев О.В., Носов С.А., Дубовой А.Н.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Вилкова Е.Ю., Тимофеев О.В., Носов С.А., Дубовой А.Н. Изменение шероховатости поверхности CVD–ZnSe при механической обработке в зависимости от размера зерна суспензии // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 9. С. 68–72.

Vilkova E. Yu., Timofeev O. V., Nosov S. A., and Dubovoĭ A. N. Variation of the surface roughness of CVD ZnSe undergoing mechanical processing as a function of the grain size of the suspension // Opticheskii Zhurnal. 2013. V. 80. №9. P. 68–72.

Ссылка на англоязычную версию:

E. Yu. Vilkova, O. V. Timofeev, S. A. Nosov, and A. N. Dubovoĭ, "Variation of the surface roughness of CVD ZnSe undergoing mechanical processing as a function of the grain size of the suspension," Journal of Optical Technology. 80(9), 577-581 (2013). https://doi.org/10.1364/JOT.80.000577

Аннотация:

Исследовано влияние размера зерна обрабатывающей суспензии на изменение шероховатости поверхности селенида цинка в процессе его механической обработки. C помощью метода атомно-силовой микроскопии установлена зависимость значений среднеарифметической и среднеквадратической шероховатости шлифованной и полированной поверхности от размера зерна абразива. Показано, что среднеарифметическое и среднеквадратическое отклонение, характеризующее шероховатость поверхности, нелинейно убывает с уменьшением размера зерна абразива.

Ключевые слова:

селенид цинка, микропорошки, полирование, шероховатость поверхности, среднеквадратическое отклонение, среднеарифметическое отклонение

Список источников:

1. Обейд А. Исследование динамики шероховатости поверхности стекол ВК7 и ТФ1 при обработке поверхностным притиром // Оптический журнал. 2005. Т. 72. № 12. С. 79–82. 2. Гаврищук Е.М., Вилкова Е.Ю., Колесников А.Н., Тимофеев О.В. Исследование полированных поверхностей халькогенидов цинка путем компьютерного распознавания дефектов на микрофотографиях // Оптический журнал. 2010. Т. 77.№ 1. С.87–94. 3. Дубовой А.Н., Кулаков В.А., Носов С.А., Гаврищук Е.М., Тимофеев О.В. Использование атомно-силовой микроскопии при оценке характеристик поверхности оптических элементов, полученных на основе наноструктурированной керамики из халькогенидов цинка //Тезисы докладов XVII Российского симпозиума по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел. Черноголовка, 2011. С. 84. 4. Винокуров В.М. Исследование процесса полировки стекла. М.: Машиностроение, 1967. 196 с. 5. Ходаков Г.С. Кудрявцева Н.Л. Физико-химические процессы полирования оптического стекла. М.: Машиностроение,1985., 224 с. 6. Вилкова Е.Ю., Тимофеев О.В. Влияние травления и химико-механического полирования на качество поверхности поликристаллического ZnSe // Неорганические материалы. 2010. Т. 46. №3. С. 297–301.