УДК: 535.211, 535.214

Влияние состава окружающей среды на эрозию поверхности фотодиода при лазерном импульсном облучении

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Кочкарев Д.В. Влияние состава окружающей среды на эрозию поверхности фотодиода при лазерном импульсном облучении // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 3. С. 65–67.

Kochkarev D.V. How the composition of the environment affects the surface erosion of a photodiode when it is irradiated by a laser pulse [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2015. V. 82. № 3. P. 65–67.

Ссылка на англоязычную версию:

D. V. Kochkarev, "How the composition of the environment affects the surface erosion of a photodiode when it is irradiated by a laser pulse," Journal of Optical Technology. 82(3), 178-180 (2015). https://doi.org/10.1364/JOT.82.000178

Аннотация:

Показаны условия появления и характер эрозионных микроструктур на поверхности кремниевых фотодиодов и монокристаллического кремния, возникающих после воздействия одиночных и многократных импульсов лазерного излучения в атмосфере чистого воздуха и воздуха, загрязненного парами металлоорганического соединения.

Ключевые слова:

лазерное ослепление, фотодиоды, лучевая эрозия, кремниевая пластина, наносекундные импульсы, окружающая среда, поверхность

Благодарность:

Исследование выполнено при финансовой поддержке Минобрнауки РФ в рамках государственного контракта № 16.740.11.0584 от 30 мая 2011 г.

Коды OCIS: 140.3440, 140.6810, 350.1820, 040.5160

Список источников:

1. Kruer M., Allen R., Esterowitz L., Bartoli F. Laser damage in silicon photodiodes // Optical and quantum electronics. 1976. V. 8. № 5. P. 453–458.
2. Wang X., Zhu D.H., Shen Z.H., Lu J., Ni X.W. Surface damage morphology investigations of silicon under millisecond laser irradiation // Applied surface science. 2010. V. 257. № 5. P. 1583–1588.
3. Lijun Xu, Hongxing Cai, Changli Li, Yong Tan, Guangyong Jin, Xihe Zhang. Degradation of responsivity for photodiodes under intense laser irradiation // Optik – International journal for light and electron optics. 2013. V. 124. № 3. P. 225–228.
4. Чесноков В.В., Резникова Е.Ф., Чесноков Д.В. Лазерные микросекундные технологии. Новосибирск: СГГА, 2003. 300 с.
5. Ивлев Г.Д., Гацкевич Е.И. Температурное изменение оптических свойств жидкой фазы при наносекундном лазерном плавлении кремния и германия // Физика и техника полупроводников. 1996. Т. 30. № 11. С. 2097–2107.
6. Коротеев Н.И., Шумай И.Л. Физика мощного лазерного излучения. М.: Наука, 1991. 312 с.
7. Арутюнян Р.В., Баранов В.Ю., Большов Л.А. Воздействие лазерного излучения на материалы. М.: Наука, 1989. 367 с.