УДК: 535.421

Метод синтеза голограмм-проекторов сфокусированного изображения и программный комплекс на его основе

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Корешев С.Н., Корепин И.Н., Вахнин М.С. Метод синтеза голограмм-проекторов сфокусированного изображения и программный комплекс на его основе // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 2. С. 40–48.

Koreshev S.N., Korepin I.N., Vakhnin M.S. Method and software system for synthesis of focused-image hologram projectors [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 2. P. 40–48.

Ссылка на англоязычную версию:

S. N. Koreshev, I. N. Korepin, and M. S. Vakhnin, "Method and software system for synthesis of focused-image hologram projectors," Journal of Optical Technology. 83(2), 106-112 (2016). https://doi.org/10.1364/JOT.83.000106

Аннотация:

Рассмотрена реализация фотолитографического процесса, основанного на синтезированных голограммах сфокусированного изображения, работающих совместно с объективом невысокого качества. Обоснована перспективность применения данной системы для решения проблем ультракоротковолновой фотолитографии. Разработан метод синтеза голограмм сфокусированного изображения, основанный на составлении таблиц соответствия. На его основе создан программный комплекс синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов сфокусированного изображения. Показаны возможность и перспективность использования комплекса в решении фотолитографических задач.

Ключевые слова:

голография, фотолитография, синтезированная голограмма сфокусированного изображения, проекционная оптическая система

Коды OCIS: 090.1760

Список источников:

1. Кольер Р., Беркхарт К., Лин Л. Оптическая голография. М.: Мир, 1973. 688 с.
2. Ehbets P., Herzig H., Kuittinen M., Clube F., Darbellay Y. High. Carrier-frequency fan-out gratings fabricated by total internal reflection holographic lithography // Opt. Eng. 1995. V. 34. № 8. P. 2377–2383.
3. Корешев С.Н., Ратушный В.П. Использование метода голографии для получения изображений двумерных объектов при решении задач фотолитографии высокого разрешения // Оптический журнал. 2004. Т. 71. № 10. С. 32–39.
4. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Козулин И.А. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов для фотолитографии // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 9. С. 29–34.
5. Корешев С.Н., Корепин И.Н. Выбор параметров синтеза голограмм-проекторов сфокусированного изображения // Оптический журнал. 2011. Т. 78. № 9. С. 45–49.
6. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Иванов Ю.А., Козулин И.А. Программный комплекс для синтеза и цифрового восстановления голограмм-проекторов: влияние параметров синтеза на качество восстановленного изображения // Оптический журнал. 2010. Т. 77. № 1. С. 42–48.
7. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Громов А.Д. Метод синтеза голограмм-проекторов, основанный на разбиении структуры объекта на типовые элементы, и программный комплекс для его реализации // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 12. C. 30–37.
8. Корешев С.Н., Никаноров О.В., Ратушный В.П. Восстановление синтезированных голограмм-проекторов Френеля при углах падения восстанавливающей волны, превышающих угол падения опорной волны при синтезе голограммы // Опт. и спектр. 2011. Т. 111. № 1. С. 156–161.
9. Корешев С.Н., Корепин И.Н. Методы синтеза голограмм сфокусированного изображения // Оптический журнал. 2013. Т. 80. № 10. С. 37–43.
10. Моро У. Микролитография. М.: Мир, 1990. 1240 с.