УДК: 681.785.35

Светодиодный широкодиапазонный спектральный эллипсометр с переключением ортогональных состояний поляризации

Ковалёв В.И., Руковишников А.И., Ковалёв С.В., Ковалёв В.В.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Ковалёв В.И., Руковишников А.И., Ковалёв С.В., Ковалёв В.В. Светодиодный широкодиапазонный спектральный эллипсометр с переключением ортогональных состояний поляризации // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 3. С. 55–59.

Kovalev V.I., Rukovishnikov A.I, Kovalev S.V., Kovalev V.V. LED broadband spectral ellipsometer with switching of orthogonal polarization states [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 3. P. 55–59.

Ссылка на англоязычную версию:

V. I. Kovalev, A. I. Rukovishnikov, S. V. Kovalev, and V. V. Kovalev, "LED broadband spectral ellipsometer with switching of orthogonal polarization states," Journal of Optical Technology. 83(3), 181-184 (2016). https://doi.org/10.1364/JOT.83.000181

Аннотация:

Приведено описание светодиодного эллипсометра с непрерывным диапазоном длин волн 260−1000 нм и высокими техническими характеристиками. Воспроизводимость и стабильность измерений эллипсометрических параметров Ψ и Δ кремния c собственным диоксидом на пиковых длинах волн излучения светодиодов не хуже 0,001 и 0,01° соответственно. На длинах волн 365, 375, 390, 405, 420 и 465 нм воспроизводимость измерений Ψ и Δ пленок металлов около 0,0003 и 0,001° соответственно. Спектральное разрешение – 4 нм. Минимальное время измерения Ψ и Δ в полном диапазоне длин волн – 20 с.

Ключевые слова:

светодиодный спектральный эллипсометр, переключение поляризации, ахроматический компенсатор, высокая чувствительность, стабильность измерений

Коды OCIS: 120.2130

Список источников:

1. Fujiwara H. Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications. N.Y.: Wiley, 2007. 392 p.
2. Aspnes D.E. Spectroscopic ellipsometry — Past, present, and future. Review // Thin Solid Films. 2014. V. 571. № 3. P. 334–344.
3. Ковалев В.И. Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации // Автореф. докт. дис. Фрязино: ИРЭ РАН, 2011. 34 с.
4. Azzam R.M.A. Polarization Michelson interferometer (POLMINT): Its use for polarization modulation and temporal pulse shearing // Opt. Commun. 1993. V. 98. № 1. P. 19–23.
5. Ковалев В.И., Руковишников А.И., Перов П.И., Россуканый Н.М., Авдеева Л.А. Разработка оптических методов и аппаратуры для контроля технологии и параметров полупроводниковых структур нано- и микроэлектроники // Радиотехника и электроника. 1999. Т. 44. № 11. С. 1404–1407.
6. Leontyev A.V., Kovalev V.I., Khomich A.V., Komarov F.F., Grigoryev V.V., Kamishan A.S. PMMA and polystyrene films modification under ion implantation studied by spectroscopic ellipsometry // Proc. SPIE. 2004. V. 5401. P. 129–136.
7. de Lima K.M.G. A portable photometer based on LED for the determination of aromatic hydrocarbons in water // Microchemical Journal. 2012. V. 103. P. 62–67.
8. Obeidat S., Bai B., Rayson G.D., Anderson D.M., Puscheck A.D., Landau S., Glasser T. A multi-source portable light emitting diode spectrofluorometer // Appl. Spectr. 2008. V. 62. № 3. P. 327–332.

9. Callegaro L., Puppin E. Lasers and light-emitting diodes as sources for fixed-wavelength magneto-optical phase modulated ellipsometry // Rev. Sci. Instrum. 1995. V. 66. № 11. P. 5375–5376.
10. Kovalev V.I., Rukovishnikov A.I., Kovalev S.V., Kovalev V.V. An LED multichannel spectral ellipsometer with binary modulation of the polarization state // Instruments аnd Experimental Techniques. 2014. V. 57. № 5. P. 607–610.
11. Ковалев С.В., Руковишников А.И., Ковалев В.И. Светодиодный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации // III Всерос. молодежная конф. “Функциональные материалы и высокочистые вещества”. Сб. материалов. М., 2012. С. 319–320.
12. Kovalev V.I., Ali M., Kovalev S.V., Kovalev V.V. Possibilities of achromatization of coaxial asymmetric phase shifters with an even number of reflections // Opt. and Spectr. 2014. V. 117. № 1. Р. 118–120.