УДК: 535.016, 535.15, 535.041.08

Исследование оптических и пьезоэлектрических свойств тонкоплёночной структуры Si-SiO2-ZnO методом импульсной лазерной оптоакустической спектроскопии

Григорьев Л.В., Мазуров М.А., Шакин О.В., Нефедов В.Г., Михайлов А.В.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Григорьев Л.В., Мазуров М.А., Шакин О.В., Нефедов В.Г., Михайлов А.В. Исследование оптических и пьезоэлектрических свойств тонкоплёночной структуры Si-SiO2-ZnO методом импульсной лазерной оптоакустической спектроскопии // Оптический журнал. 2017. Т. 84. № 2. С. 90–94.

Grigoriev L.V., Mazurov M.A., Shakin O.V., Nefedov V.G., Mikhaylov A.V. Study of optical and piezoelectric properties of thin-film Si-SiO2-ZnO structure via pulsed-laser optoacoustic spectroscopy [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2017. V. 84. № 2. P. 90–94.

Ссылка на англоязычную версию:

L. V. Grigor’ev, M. A. Mazurov, O. V. Shakin, V. G. Nefedov, and A. V. Mikhaĭlov, "Study of optical and piezoelectric properties of thin-film Si-SiO₂-ZnO structure via pulsed-laser optoacoustic spectroscopy," Journal of Optical Technology. 84(2), 137-139 (2017). https://doi.org/10.1364/JOT.84.000137

Аннотация:

Представлены результаты исследования методом импульсной лазерной оптоакустической спектроскопии оптических и пьезоэлектрических свойств микроструктуры Si-SiO2-ZnО. С помощью оптоакустического зондирования вычислена скорость акустической волны, распространяющейся в слое оксида цинка, которая составила 3,01×103 м/с, и определен коэффициент поглощения акустической волны, равный 3,45 дб/см. Модифицированным методом Диксона определена величина акустооптической постоянной M2 для плёнки ZnO, которая составила 8,78×10−18 с3/г.

Ключевые слова:

оксид цинка, оптоакустическое зондирование, импульсная лазерная оптоакустическая спектроскопия

Благодарность:

Работа выполнена при поддержке научного проекта РФФИ № 16-07- 00237.

Коды OCIS: 250.0250, 300.0300, 310.0310, 160.0160

Список источников:

1. Волошинов В.Б., Никитин П.А., Трушин А.С., Магдич Л.Н. Акустооптическая ячейка на кристалле парателлурита с поверхностным возбуждением объемных акустических волн // Письма ЖТФ. 2011. Т. 37. Вып. 16. С. 22–28.
2. Авдошин Е.С. Световодный ИК радиометр с поляризационной модуляцией излучения в планарном волноводе // Автометрия. 1991. № 1. С. 42–46.
3. Srikant V., Clarke D.R. On optical band gap of zinc oxide // Journal of Appl. Phys. 1998. V. 83. P. 5447–5451.
4. Gumus C., Ozkedid O.M., Kovak H., Ufuktepe Y. Structural and optical properties of zinc oxide thin films // J. Optoelectronics and adv. materials. 2006. V. 8. #1. P. 299–3003.
5. Григорьев Л.В., Нефедов В.Г., Шакин О.В., Михайлов А.В., Елисеев Е.Н. Исследование структурных и оптических свойств тонких поликристаллических плёнок оксида цинка, полученных ионно-плазменным методом // Оптический журнал. 2015. Т. 82. № 5. С. 66–70.

6. Карабутов А.А., Матросов М.П., Подымова Н.Б., Пыж В.А. Импульсная акустическая спектроскопия с лазерным источником звука // Акустический журнал. 1991. Т. 37. Вып. 3. С. 311–322.
7. Гусев В.Э., Карабутов А.А. Лазерная оптоакустика. М.: Наука. Физматлит, 1991. 304 с.
8. Карабутов А.А., Пеливанов И.М., Подымова Н.Б., Скипетров С.Е. Измерение оптических характеристик рассеивающих сред лазерным оптико-акустическим методом // Квантовая электроника. 1999. Т. 29. № 3. С. 215–220.
9. Бурмистрова Л.В., Руденко О.В., Черепецкая Е.Б. Метод передаточных функций в задачах термооптического возбуждения звука // Акустический журнал. 1978. Т. 28. Вып. 5. С. 655–663.
10. Гусев О.Б., Клудзин В.В. Акустооптические измерения. Л.: Издательство ЛГУ, 1987. 148 с.
11. Karabutov A.A., Podymova N.B., Letokhov V.S. Time-resolved laser optoacoustic tomography of inhomogeneous media // App. Phys. B. 1996. V. 63. P. 545–563.
12. Арсенин В.Я., Тихонов А.Н. Численные методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1991. 230 с.
13. Морозов А.И., Проклов В.В., Станковский Б.А., Гингис А.Н. Пьезополупроводниковые преобразователи. М.: Энергия, 1973. 159 с.