ITMO
en/ en

ISSN: 1023-5086

en/

ISSN: 1023-5086

Научно-технический

Оптический журнал

Полнотекстовый перевод журнала на английский язык издаётся Optica Publishing Group (ранее OSA) под названием “Journal of Optical Technology“

Подача статьи Подать статью
Больше информации Назад

Улучшение точности измерений датчика энергии импульсов излучения эксимерного лазера на основе специального фильтра импульсного отклика с конечной длительностью

Ссылка для цитирования:

Chengke Xie, Ming Chen, Jing Zhu, Baoxi Yang, Huijie Huang Measurement precision improvement for excimer laser pulse energy sensor based on a special finite impulse response filter (Улучшение точности измерений датчика энергии импульсов излучения эксимерного лазера на основе специального фильтра импульсного отклика с конечной длительностью) [на англ. яз.] // Оптический журнал. 2017. Т. 84. № 5. С. 75–79.

 

Chengke Xie, Ming Chen, Jing Zhu, Baoxi Yang, Huijie Huang Measurement precision improvement for excimer laser pulse energy sensor based on a special finite impulse response filter (Улучшение точности измерений датчика энергии импульсов излучения эксимерного лазера на основе специального фильтра импульсного отклика с конечной длительностью) [in English] // Opticheskii Zhurnal. 2017. V. 84. № 5. P. 75–79.

Ссылка на англоязычную версию:

Chengke Xie, Ming Chen, Jing Zhu, Baoxi Yang, and Huijie Huang, "Measurement precision improvement for excimer laser pulse energy sensor based on a special finite impulse response filter," Journal of Optical Technology. 84(5), 346-349 (2017). https://doi.org/10.1364/JOT.84.000346

Аннотация:

При создании литографических устройств, работающих в дальней ультрафиолетовой области спектра, важна точность измерения энергии импульсов эксимерных лазеров. Проведение измерений в процессе мониторинга лазерных импульсов для контроля экспозиционной дозы осложняется наличием шумов датчиков энергии. Для улучшения точности измерений и уменьшения влияния шумов предложен специальный фильтр импульсного отклика с конечной длительностью. В частности, ядро свертки этого фильтра получается из условия нелинейной подгонки формы выходного импульса источника. Экспериментально показано, что точность измерений с таким фильтром улучшается приблизительно в 2–3 раза. Для проверки работоспособности датчика энергии были проведены измерения пропускания эталона, изготовленного из стекла Corning 7890, продемонстрировавшие погрешность измерений 0,11% и совпадение результатов с измеренными стандартными ультрафиолетовыми спектрометрами.

Ключевые слова:

жидкокристаллические модуляторы, световые поля со сложной пространственной структурой, динамическое управление

Коды OCIS: 110.5220; 140.2180; 250.0040; 120.4800; 120.3940; 120.7000

Список источников:

1. Postnikov S., Hector S., Garza C., Peters R, Ivin V. Critical dimension control in optical lithography // Microelectronic Eng. 2003. V. 69. P. 452–458.
2. Kivenzor G. and Zimmerman R. Dose metrology for DUV lithographic tools // Proc. SPIE. 2001. V. 4404. P. 368–371.
3. Tracy D.H., Wu F.Y. Exposure dose control techniques for excimer laser lithography // Proc. SPIE. 1988. V. 922. P. 437–443.
4. Guo L., Huang H., Wang X., and Zhang D. Exposure dose control for step-and-scan lithography // Proc. SPIE. 2005. V. 5645. P. 217–222.
5. Liu S., Wu X. Real-time exposure dose control algorithm for DUV excimer lasers // Acta Optica Sinica (in Chinese). 2011. V. 26. P. 878–884.
6. Hu C. Design and verification of FIR filter based on Matlab and DSP // Proc. Intern. Conf. Image Analysis and Signal Processing (IASP). 2012.
7. Chen X. and Koenders L. A novel pitch evaluation of one-dimensional gratings based on a cross-correlation filter // Meas. Sci. Technol. 2014. V. 25. P. 044007.
8. Diaz-Ramirez V.H., Picos K., and Kober V. Target tracking in nonuniform illumination conditions using locally adaptive correlation filters // Opt. Commun. 2014. V. 323. P. 32–43.
9. Xu P., Miao Q., Tang X., and Zhang J. A denoising algorithm via wiener filtering in the shearlet domain // Multimed Tools Appl. 2014. V. 71. P. 1529–1558.
10. Zhao S., Shmaliy Y.S., Liu F. Fast computation of discrete optimal FIR estimates in white Gaussian noise // IEEE Signal Process. Lett. 2015. V. 22. P. 718–722.