Инвариантность результатов измерений к неидеальностям прозрачных носителей при контроле точности углоизмерительных структур

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Кирьянов А.В., Кирьянов В.П. Инвариантность результатов измерений к неидеальностям прозрачных носителей при контроле точности углоизмерительных структур // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 10. С. 43–49. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-10-43-49

Kiriyanov A.V., Kiriyanov V.P. Invariance of measurement results to the nonideal nature of transparent media when the accuracy of angle-measuring structures is being monitored [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 10. P. 43–49. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-10-43-49

Ссылка на англоязычную версию:

A. V. Kir’yanov and V. P. Kir’yanov, "Invariance of measurement results to the nonideal nature of transparent media when the accuracy of angle-measuring structures is being monitored," Journal of Optical Technology. 85(10), 633-638 (2018). https://doi.org/10.1364/JOT.85.000633

Аннотация:

Рассмотрены особенности контроля погрешности формирования топологии угловых лимбов, растров или многоразрядных кодовых дисков. Показано, что при контроле точности изготовления этих изделий в режиме «на просвет» существующие углоизмерительные машины подвержены возмущающему воздействию со стороны неидеальностей прозрачных носителей объекта контроля. В статье рассмотрена возможность использования повторного прохождения зондирующего луча через прозрачный носитель, позволяющая реализовать процесс измерений, инвариантный к неидеальностям оптической подложки.

Ключевые слова:

углоизмерительная структура, топология элемента, угловая погрешность, углоизмерительная машина

Благодарность:

Исследование выполнено за счёт средств субсидии на финансовое обеспечение выполнения государственного задания (Проект IV. 36.1.3 № гос. регистрации 031920160009) в ИАиЭ СО РАН.

Коды OCIS: 230.4000, 230.0250, 230.0040, 120.5475

Список источников:

1. Абрамов Ю.Ф., Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кокарев С.А., Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Модернизация оптического делительного производства Уральского оптико-механического завода на основе современных лазерно-компьютерных и фотолитографических технологий // Оптический журнал. 2006. Т. 73. № 8. C. 61–65.
2. Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б., Андронов М.П. Исследование влияния условий синтеза круговых оптических шкал, изготовленных с использованием лазерного генератора изображений CLWS-300, на их угловые погрешности // Оптический журнал. 2013. Т. 79. № 7. C. 41–44.
3. Bartik S.A., Frizin S.E., Kiraynov A.V., Kiraynov V.P., Kokarev S.A., Kruchinin D.Yu., Nikitin V.G., Yakovlev O.B. Development of technique for the determination of metrological parameters of technological system CLWS-300/C for synthesis of high precision angular measuring structures // 10-th IMEKO TC-7 International Sumposium, Saint-Petersburg, 2004. V. 2. P. 316–320.
4. Кирьянов А.В., Кирьянов В.П., Волохов И.В., Бобков А.В. Использование метода кругового сканирования для формирования и контроля топологии прецизионных фотошаблонов интегральных датчиков физических величин // Оптический журнал. 2016. Т. 82. № 7. С. 26–31.

5. Кирьянов А.В. Снижение погрешности формирования прецизионных углоизмерительных структур // Автореф. канд. дис. Новосибирск: КТИ НП СО РАН, 2008. 20 с.
6. Кирьянов В.П., Кирьянов А.В., Кручинин Д.Ю., Яковлев О.Б. Анализ современных технологий синтеза углоизмерительных структур для высокоточных угловых измерений // Оптический журнал. 2007. Т. 74. № 12. С. 40–49.
7. Portman V., Peschansky B. Phase-statistical method and device for high precision and high efficiency angular measurements // Precision Engineering. 2001. V. 25. P. 309–315.
8. Kiryanov V.P. Phase-statiatical method in high-precision angle measuring technologies: speсial features of use // ACIT 2010: Proceedings of the IASTED International Conferences on Automation, Control, and Information Technology, 2010. P. 296–299.
9. Kiryanov V.P., Kiryanov A.V., Kokarev S.A., Nikitin V.G., Vedernikov V.M. Determination of metrological performance technology for forming the precision angular measuring structures using laser image generators with circular scanning. Proceeding of the 2-nd International Symposium Mechanical Measurements. Beijing. China. 2004. P. 129–133.
10. Алексеев А.В., Кабанов М.В., Куштин М.Ф. Оптическая рефракция в земной атмосфере. Новосибирск, 1982, 180 с.
11. Kирьянов В.П., Kирьянов A.В. Способ измерения точности изготовления углоизмерительных структур, нанесённых на прозрачный носитель // Патент России № 2242715. 2003.