Исследование уровней микровибрации в лазерном интерферометре с системой активной виброизоляции

Грузевич Ю.К., Солдатенков В.А., Ачильдиев В.М., Левкович А.Д., Бедро А.Н., Комарова М.Н., Воронин И.В. Исследование уровней микровибрации в лазерном интерферометре с системой активной виброизоляции // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 5. С. 68–74. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-05-68-74

Gruzevich Yu.K., Soldatenkov V.A., Achildiev V.M., Levkovich A.D., Bedro A.N., Komarova M.N., Voronin I.V. Investigation of microvibration levels in a laser interferometer with an active vibration isolation system [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 5. P. 68–74. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-05-68-74 

Yu. K. Gruzevich, V. A. Soldatenkov, V. M. Achil’diev, A. D. Levkovich, A. N. Bedro, M. N. Komarova, and I. V. Voronin, "Investigation of microvibration levels in a laser interferometer with an active vibration isolation system," Journal of Optical Technology. 85(5), 308-313 (2018). https://doi.org/10.1364/JOT.85.000308

Исследованы вибрационные возмущения, действующие в процессе работы лазерного интерферометра с пассивной и активной виброизоляцией, с помощью датчика микровибрации на основе микромеханических акселерометров. Приводится описание рабочего места, оптическая схема прибора и описывается методика проведения измерений. Проведенный анализ результатов измерений показал, что при воздействии случайной микровибрации амплитуды колебаний исследуемой поверхности и головки микроскопа различны и разница достигает значений, соизмеримых с разрешением лазерного интерферометра. Показано, что для уменьшения погрешностей измерений в лазерном интерферометре в процессе измерений целесообразно осуществлять активную виброизоляцию.