ITMO
en/ en

ISSN: 1023-5086

en/

ISSN: 1023-5086

Научно-технический

Оптический журнал

Полнотекстовый перевод журнала на английский язык издаётся Optica Publishing Group (ранее OSA) под названием “Journal of Optical Technology“

Подача статьи Подать статью
Больше информации Назад

DOI: 10.17586/1023-5086-2018-85-05-68-74

УДК: 681.787

Исследование уровней микровибрации в лазерном интерферометре с системой активной виброизоляции

Ссылка для цитирования:

Грузевич Ю.К., Солдатенков В.А., Ачильдиев В.М., Левкович А.Д., Бедро А.Н., Комарова М.Н., Воронин И.В. Исследование уровней микровибрации в лазерном интерферометре с системой активной виброизоляции // Оптический журнал. 2018. Т. 85. № 5. С. 68–74. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-05-68-74

 

Gruzevich Yu.K., Soldatenkov V.A., Achildiev V.M., Levkovich A.D., Bedro A.N., Komarova M.N., Voronin I.V. Investigation of microvibration levels in a laser interferometer with an active vibration isolation system [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2018. V. 85. № 5. P. 68–74. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2018-85-05-68-74 

Ссылка на англоязычную версию:

Yu. K. Gruzevich, V. A. Soldatenkov, V. M. Achil’diev, A. D. Levkovich, A. N. Bedro, M. N. Komarova, and I. V. Voronin, "Investigation of microvibration levels in a laser interferometer with an active vibration isolation system," Journal of Optical Technology. 85(5), 308-313 (2018). https://doi.org/10.1364/JOT.85.000308

Аннотация:

Исследованы вибрационные возмущения, действующие в процессе работы лазерного интерферометра с пассивной и активной виброизоляцией, с помощью датчика микровибрации на основе микромеханических акселерометров. Приводится описание рабочего места, оптическая схема прибора и описывается методика проведения измерений. Проведенный анализ результатов измерений показал, что при воздействии случайной микровибрации амплитуды колебаний исследуемой поверхности и головки микроскопа различны и разница достигает значений, соизмеримых с разрешением лазерного интерферометра. Показано, что для уменьшения погрешностей измерений в лазерном интерферометре в процессе измерений целесообразно осуществлять активную виброизоляцию.

Ключевые слова:

система активной виброизоляции, система пассивной виброизоляции, анализатор микросистем, лазерный интерферометр, датчик микровибрации, виброскорость, виброперемещение, оптический модуль, микроскоп

Коды OCIS: 120.3180, 230.1150

Список источников:

1. http://www.polytec.com/us/products/vibration-sensors/microscope-based-systems/msa-500-micro-system-analyzer/
2. Лычагов В.В., Рябухо В.П. Лазерный интерференционный виброметр. Саратов: изд. Саратовского государственного университета им. Н.Г. Чернышевского, 2011. 24 с.
3. Ачильдиев В.М., Грузевич Ю.К., Солдатенков В.А. Информационные измерительные и оптико-электронные системы на основе микро- и наномеханических датчиков угловой скорости и линейного ускорения. М.: изд. МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2016. 260 с.
4. Active vibration isolation system TS-150LP/ NS-140LP/ NS-300LP. Instruction manual. The TableStable Ltd. WWW.TableStable.com v 2015-1.01/
5. Single axis analog accelerometer. VS 1000 – PRELIMINARY DATASHEET. Colibrys LTD. www.colibris.com. 10/2015
6. Сирая Т.Н. Вариация Аллана как оценка погрешности измерения // Гироскопия и навигация. 2010. № 2(69). С. 29–36.
7. IEEE Std 1554-2005 IEEE recommended practical for inertial sensor test equipment. Instrumentation, Data Ecquisition, and Analysis.