Ган М. А.

Доктор технических наук

Место работы
АО «НПО Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова», Санкт-Петербург, Россия

E-mail: mikhail.gan@gmail.com

Статьи

Ган М.А., Никулина Е.А. Определение топографии двулучепреломления в кристаллах флюорита и исследование его влияния на качество изображения
проекционных фотолитографических систем // Оптический журнал. 2011. Т. 78. № 11. С. 20–23.

Gan M.A., Nikulina E.A. Determining the topography of the birefringence in fluorite crystals and a study of how it affects the image quality of photolithographic projection systems [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2011. V. 78. № 11. P. 20–23.

Аннотация