ITMO
en/ en

ISSN: 1023-5086

en/

ISSN: 1023-5086

Научно-технический

Оптический журнал

Полнотекстовый перевод журнала на английский язык издаётся Optica Publishing Group под названием “Journal of Optical Technology“

Подача статьи Подать статью
Больше информации Назад

Макаров Евгений Александрович

Место работы
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия

Статьи

Сейсян Р.П., Беспалов В.Г., Жевлаков А.П., Макаров Е.А., Родионов А.Ю. Двухимпульсное биспектральное лазерное возбуждение и инициация плазмы в источнике экстремально-ультрафиолетового излучения для нанолитографии // Оптический журнал. 2017. Т. 84. № 11. С. 45–54.

 

Seysyan R.P., Bespalov V.G., Zhevlakov A.P., Makarov E.A., Rodionov A.Yu. Dual-pulse bispectral laser excitation and plasma initiation in an extreme-UV radiation source for nanolithography [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2017. V. 84. № 11. P. 45–54.

Аннотация