ITMO
en/ en

ISSN: 1023-5086

en/

ISSN: 1023-5086

Научно-технический

Оптический журнал

Полнотекстовый перевод журнала на английский язык издаётся Optica Publishing Group под названием “Journal of Optical Technology“

Подача статьи Подать статью
Больше информации Назад

Зайцев Сергей Викторович

Место работы
Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова, Белгород, Россия

Статьи

Нарцев В.М., Аткарская А.Б., Зайцев С.В., Осипенко Н.В., Прохоренков Д.С., Евтушенко Е.И. Эллипсометрия TiOx-покрытий, осажденных в магнетронной установке с несбалансированной магнитной системой. Влияние концентрации кислорода и дистанции "магнетрон-подложка" // Оптический журнал. 2016. Т. 83. № 4. С. 88–94.

 

Nartsev V.M., Atkarskaya A.B., Zaitsev S.V., Osipenko N.V., Prokhorenkov D.S., Evtushenko E.I. Ellipsometry of TiOx coatings deposited in a magnetron apparatus with an unbalanced magnetic system: effect of the oxygen concentration and the magnetron–substrate distance [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2016. V. 83. № 4. P. 88–94.

Аннотация