|
Анчуткин В.С., Бельский А.Б., Волошинов В.Б., Юшков К.Б. Акустооптический метод спектрально-поляризационного анализа изображений // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 8. С. 29–35.
Anchutkin V.S., Belskiy A.B., Voloshinov V.B., Yushkov K.B. Acoustooptical method of spectral-polarization image analysis [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 8. P. 29–35.
|
Abstract
|
|
Бельский А.Б., Анчуткин В.С., Урвачев С.А. Контроль перемещений подвижных линз в проекционном объективе фотолитографической установки для производства сверхбольших интегральных схем // Оптический журнал. 2007. Т. 74. № 2. С. 49–56.
Belskiy A.B., Anchutkin V.S., Urvachev S.A. Monitoring the displacements of movable lenses in the projection objective of a photolithographic system for producing superlarge integrated microcircuits [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2007. V. 74. № 2. P. 49–56.
|
Abstract
|