Ivanov, V. A.

Котликов Е.Н., Иванов В.А., Прокашев В.Н., Тропин А.Н. Равномерность толщины пленок, осажденных на вращающиеся подложки // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 2. С. 58–62.

Kotlikov E.N., Ivanov V.A., Prokashev V.N., Tropin A.N. Thickness uniformity of films deposited on rotating substrates [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 2. P. 58–62.