en
Назад
УДК: 535.31, 53.082.5
Оценка параллакса изображения мениска выращиваемого кристалла
Полный текст «Оптического журнала»
Полный текст на elibrary.ru
Публикация в Journal of Optical Technology
Михляев С.В. Оценка параллакса изображения мениска выращиваемого кристалла // Оптический журнал. 2008. Т. 75. № 1. С. 66–70.
Mikhlyaev S.V. Estimating the parallax of the image of the meniscus of a growing crystal [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2008. V. 75. № 1. P. 66–70.
S. V. Mikhlyaev, "Estimating the parallax of the image of the meniscus of a growing crystal," Journal of Optical Technology. 75 (1), 52-56 (2008). https://doi.org/10.1364/JOT.75.000052
Предложен подход, позволяющий исследовать параллакс изображения мениска кристалла, выращиваемого из расплава методом вытягивания, и оценить его влияние на метрологические характеристики оптических систем контроля геометрии кристалла.
Коды OCIS: 150.3040, 110.0110, 110.2960
Список источников:1. Lawson W.D., Nielsen S. Preparation of single crystals. London: Butterworths Scientific Publications, 1958. 255 p.
2. Шашков Ю.М. Выращивание монокристаллов методом вытягивания. М.: Металлургия, 1982. 310 с.
3. Kasparian V., Batur C., Duval W.M.B., Rosenthal B.N., Singh N.B. Application of stereo imaging for recognition of crystal surface shapes // Journal of Crystal Growth. 1994. V. 141. P. 455–464.
4. Mikhlyaev S.V., Nezhevenko E.S. A computer vision system to control the process of crystal growth // Pattern Recognition and Image Analysis, IAPC “Nauka/Interperiodica”. Russia. 1999. V. 9. № 1. P. 156–158.
5. Mikhlyaev S.V., Nezhevenko E.S. Metrological problems of melting level and crystal geometry measurement during crystal growing // Proc. SPIE. 2002. V. 4900. Seventh Int. Symposium on Laser Metrology Applied to Science, Industry, and Everyday Life. P. 572–578.
6. Mikhlyaev S.V. Method for measuring the diameter of a growing crystal // Proc. of 7th Int. Conf. on Pattern Recognition and Image Analysis: New Information Technologies. St.Petersburg. 2004. V. 3. P. 799–802.
7. Kozik V.I., Nejevenko E.S. Monitoring of monocrystal diameter in growing vessel // Proc. of the Second IASTED Int. Conf. Automation, Control and Information Technology, June 20–24, Novosibirsk, Russia. 2005. P. 59–62.
8. Mikhlyaev S.V. Measuring the diameter of a growing crystal // Proc. of the Second IASTED Int. Conf. Automation, Control and Information Technology, June 20–24, Novosibirsk, Russia. 2005. P. 53–58.
9. Щепкин Ю. Ф. Определение формы жидкого столбика при выращивании монокристаллов методом Чохраль-ского из расплава со свободной поверхностью // Физика и химия обработки материалов. 1971. № 3. С. 29-33.
10. Bardsley W., Frank F.C., Green G.W., Hurle D.T.J. The meniscus in Czochralski growth // Journal of Ñrystal Growth. 1974. V. 23. P. 341–344.