ITMO
en/ en

ISSN: 1023-5086

en/

ISSN: 1023-5086

Научно-технический

Оптический журнал

Полнотекстовый перевод журнала на английский язык издаётся Optica Publishing Group под названием “Journal of Optical Technology“

Подача статьи Подать статью
Больше информации Назад

Иванов В. А.

Место работы
Научно-исследовательский институт «Гириконд», Санкт-Петербург, Россия

Статьи

Котликов Е.Н., Иванов В.А., Прокашев В.Н., Тропин А.Н. Равномерность толщины пленок, осажденных на вращающиеся подложки // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 2. С. 58–62.

 

Kotlikov E.N., Ivanov V.A., Prokashev V.N., Tropin A.N. Thickness uniformity of films deposited on rotating substrates [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 2. P. 58–62.

 Аннотация