Оптический журнал

Место работы
Научно-исследовательский институт оптико-электронного приборостроения, г. Сосновый Бор Ленинградской обл., Россия

Статьи

Калашников Е.В., Калашникова С.Н. Исследование ионной имплантации в условиях струйного диафрагменного разряда в вакууме // Оптический журнал. 2009. Т. 76. № 9. С. 76–81.

Kalashnikov E.V., Kalashnikova S.N. Study of ion implantation under conditions of a jet diaphragm discharge in vacuum [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2009. V. 76. № 9. P. 76–81.

Аннотация