Урвачев С. А.

Бельский А.Б., Анчуткин В.С., Урвачев С.А. Контроль перемещений подвижных линз в проекционном объективе фотолитографической установки для производства сверхбольших интегральных схем // Оптический журнал. 2007. Т. 74. № 2. С. 49–56.

Belskiy A.B., Anchutkin V.S., Urvachev S.A. Monitoring the displacements of movable lenses in the projection objective of a photolithographic system for producing superlarge integrated microcircuits [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2007. V. 74. № 2. P. 49–56.